型号:ASR-VMS-6050
工作台 X/Y轴行程 600MM*500MM
Z轴行程 有效空间235mm,调焦行程250mm,工作距离105mm
大理石台面尺寸 650MM*550MM
玻璃台面尺寸 450MM*350MM
传动型式 传动型:X/Y/Z轴台湾进口精密线性导轨和台湾进口滚珠螺杆
测量伺服驱动系统 光学尺分辨率:X/Y/Z轴0.0002MM(0.2UM)
测量精度:≤2.5UM+L/250 重复精度:≤2.5UM+L/250
机房散热量计算:
保持机房内计算机系统操作于温度、湿度空间,必须计算计算机房内总散热量,其中包括机房内机器散热量总和(灯光普通照明灯可忽略不计)
·人员散热量:每人平均600BTY/小时
· 未来扩充的设备(略)
·机房空间散热量:50BTY/平方英尺